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单极性脉冲偏压电源的特点


单极性脉冲偏压电源的特点

   在镀膜的环节中,都需要应用到电源,因为镀的材料不一样,工艺技术不一样,机器设备配备也不一样,所采取的镀膜电源也就不一样。其中就包含偏压电源。

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  偏压电源在多弧正离子和射频溅射镀膜技术应用里都要应用。只不过因为射频溅射的离化率远小于多弧离子镀,所需偏压电源的效率更小。初期的偏压工作电压主要是用可控硅技术应用的直流电偏压电源,如今多数为采取高频率逆变电源技术应用制造的单极性、直流电累加脉冲发生器和双极性脉冲发生器偏压电源。在离子轰击中用来加快正离子,提升离子轰击产品工件表层进的能量,做到溅射清理实际效果和提升膜层结合性的目地,在膜层堆积时,它也用来提高正离子能量,推动和改进薄膜生長,也会提升膜基结合性,下列是单极性脉冲发生器偏压电源的主要特点:
  1.高频率单极性脉冲发生器偏压施加压力在产品工件上,相比较直流电偏压来讲,因为存有工作电压中止空隙,能有效的降低点火频次,保护产品工件表层。
  2.脉冲发生器空隙期内,产品工件表层累积的正电荷可以被中合,电荷量降低了表层正电荷累积造成的点火。
  3.高频率逆变电源技术应用中的迅速关闭能力,能有效的降低每一次点火释放出来的能量,即使在点火出現时,也可以显著降低产品工件表层大损害程度。
  4.脉冲发生器空隙期内堆积到产品工件表层的正离子能量很低。
  5.可以利用调整频率、占空比要改进和调整成膜速率和品质。
 
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